1. 懸浮顆粒計數(shù)法(Laser Particle Counting):這是常見的潔凈室空氣質(zhì)量監(jiān)測方法之一。它使用激光顆粒計數(shù)儀來測量空氣中的微小顆粒數(shù)量和大小。通過追蹤顆粒數(shù)量,可以確定潔凈室內(nèi)的空氣質(zhì)量是否滿足標(biāo)準(zhǔn)。
2. 沉積顆粒采樣法(Total Airborne Particulate Sampling):這種方法涉及將空氣樣本通過過濾器或采樣器傳遞,以捕獲懸浮顆粒。然后,通過分析過濾器上的顆粒來確定其數(shù)量和大小。
3. 微生物監(jiān)測(Microbial Monitoring):潔凈室還需要監(jiān)測微生物污染,因為微生物可以對一些應(yīng)用產(chǎn)生嚴(yán)重影響。這包括采集空氣和表面樣本,然后使用培養(yǎng)、聚合酶鏈反應(yīng)(PCR)等方法來檢測微生物的存在。
4. 氣溶膠發(fā)生器(Aerosol Generators):為了測試潔凈室中的空氣過濾系統(tǒng)的性能,可以使用氣溶膠發(fā)生器生成微小顆粒,并測量它們在潔凈室內(nèi)的分布。這有助于確保過濾系統(tǒng)有效去除顆粒。
5. 環(huán)境監(jiān)控系統(tǒng)(Environmental Monitoring Systems):這是一種綜合的方法,結(jié)合了各種傳感器、監(jiān)控設(shè)備和數(shù)據(jù)記錄系統(tǒng),以實時監(jiān)測潔凈室的各項參數(shù),包括溫度、濕度、壓力、氣流速度等,以確保潔凈室運行在理想條件下。